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1200℃三温区管式CVD设备
报价:面议
品牌: | 贝意克 |
产地: | 安徽合肥 |
关注度: | 12 |
型号: | BTF-1200C-III-3ZL-CVD |
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:铁铬铝丝
烧结气氛:其他
温控精度:±1℃
最高温度:1200℃
额定温度:≤1100℃
产品介绍
一、设备组成
这是一款组合管式CVD设备。该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成。
1、开启式加热炉:
三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质,K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件,内部温场均匀。
2、多路供气系统
质量流量计可按照程序设定,对多路气体进行单独或者混合。操作方便,控制精确。
3、智能控压组件
通过真空计实时监测管内压力,PLC根据设定压力大小调节阀开启大小,以控制管内压力稳定。
4、低真空系统
配备进口机械泵,进口真空计,质量可靠。
二、技术参数
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
加热总功率 | ≤8KW |
加热区尺寸 | 300+300+300mm |
设备主体尺寸(长*宽*高) | 2000*700*1300mm |
设备重量 | 约150KG |
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工商信息
企业名称
安徽贝意克设备技术有限公司
企业类型
信用代码
91340100591423143H
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围