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红外快速退火炉系统
报价:面议
品牌:
产地: 安徽合肥
关注度: 834
型号: BTF-1200C-RTP-CVD
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产品介绍

一、设备简介

该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成,内控热电偶用于控制RTP炉内的温度,出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取,进气口除用于通入保护气体或反应气体外,还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温,以此获得较高的降温速率。


二、技术参数

加热系统

额定电压

AC 220V  50/60Hz

额定功率

20KW

使用温度

1200℃

额定温度

1000℃

稳定状态温度范围

100~1000℃

加热区长度

230mm

恒温区长度

120mm

温度控制重复性

±3℃

温度控制精确度

±0.1℃

升温速率

≤50℃/s

控温方式

内控温

温度过冲

3℃

炉管尺寸

高纯石英管Φ90*400*R45mm

控温方式

智能化PLC控制,具有超温和断偶报警功能

真空机组主要参数

空气相对湿度

≤85%

工作电压

220V±10%  50~60Hz

抽气速率

165L/min

实验真空度

5.0x10-1Pa(空载、冷态)

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

供气系统主要参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2

200sccm、500sccm

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性 1~4Sec,电特性 10Sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

压力

≤3MPa

接口

Φ6,1/4”

显示

液晶屏显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6


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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供红外快速退火炉系统,红外快速退火炉系统产地为安徽合肥,属于半导体行业专用仪器,除了红外快速退火炉系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备。
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

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