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1400℃多功能回转CVD系统
报价:面议
品牌: 贝意克
产地: 安徽合肥
关注度: 806
型号: BTF-1400C-II-OP-R
核心参数

非金属电热元件:碳化硅

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

温控精度:±1℃

最高温度:1400℃

额定温度:≤1300℃

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产品介绍

一、产品特色

1、此款设备提供一个双温区的温场,两个温区可独立控制。

2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,炉膛可开启。

3、加热元件采用硅碳棒,**使用温度可以达到1400度,使用寿命长,温场流场均匀。

4、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。

5、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。


二、设备组成

加热系统、炉管转动系统、供气系统、真空系统,工控及操作系统。

1、加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

 2、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。

 3、供气系统:

供气系统是一种可控制3种气体按不同流量进气的装置,浮子流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

 4、真空系统:

真空系统内部安装机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。


三、技术参数

加热主体

额定功率

10KW

额定电压

AC 220V

(L+N+PE)2P  63A空开

**温度

1400℃

持续工作温度

≤1300℃

推荐升温速率

≤10℃/min

加热区数量

2区,独立控温

加热区长度

300+300mm

热电偶

S型热电偶

控温方式

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

腔体尺寸

中间外径Ø100* 端头外径Ø60*长度1400mm

管径尺寸

Φ60*1400mm

炉膛保温材料

氧化铝纤维

表面温度

≤60℃

金属密封法兰

磁流体密封法兰

控制器

可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口可以电脑连接一键拷贝数据

三路供气系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

流量计类型

浮子流量计(3个),量程可选

**压力

3MPa

接口

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6卡套接头

真空系统

空气相对湿度

≤85%

工作电电压

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m3/h

实验真空度

5.0X10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

噪音

50dB

真空计

配用规管

ZJ-52T电阻规

测量范围

10 5 ~10 -1 Pa

测量路数

1路

控制范围

5×10 3 ~5×10 -1 Pa

控制方式

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W


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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供贝意克1400℃多功能回转CVD系统,1400℃多功能回转CVD系统产地为安徽合肥,属于回转炉,除了1400℃多功能回转CVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备。
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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