一、结构简介

1、该款CVD设备配备加热系统、进料系统、出料系统、触摸屏控制系统、气路系统、真空系统、平台升降装置等；

2、设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-25°之间；

3、真空系统由一个PCG550真空计和一台DRV-16机械泵组成，右端法兰上配有压力保护装置和一个截止阀控制的进气口；

4、右端作为进料端，配有进料罐和送料机构作为进料使用；

5、左端法兰上配有PCG550真空计和一个球阀控制的出气口以及一个KF25真空接口；

6、左端作为出料端，配有出料系统和收料罐。

二、技术参数