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小型三温区PECVD设备
报价:面议
品牌: 贝意克
产地: 安徽合肥
关注度: 32
型号: BTF-1200C-III-S-PECVD
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:铁铬铝丝

烧结气氛:其他

温控精度:±1℃

最高温度:1200℃

额定温度:≤1100℃

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产品介绍

这是一款定制组合式PECVD设备该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成。

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,3点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

2、射频组件

500W射频机组,可以使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效。

3、气路柜组件

可控制多种气体按照不同流量进行混合配比,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成,外形美观,操作简便,数据直观可读。


加热总功率

≤7KW

额定电压

220V

**温度

1200℃

工作温度

≦1100℃

升温速率

≦10℃/min

加热元件

电阻丝

加热区长度

200+200+200mm

热电偶

K型热电偶

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

设备尺寸

2700x600x1250mm

设备重量

180KG


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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供贝意克小型三温区PECVD设备,小型三温区PECVD设备产地为安徽合肥,属于管式炉,除了小型三温区PECVD设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备。
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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