反射功率

≤200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

标准量程（N₂)

200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

压力

≤3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

工作环境

5℃～40℃

工作电电压

380V

抽气速率

32m³/h

极限真空

5X10^-1Pa（空载冷态）

工作压力范围

1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连