使用温度

≤1200℃

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热元件

电阻丝（掺钼铁铬铝合金）

控温精度

±1℃

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

炉管尺寸

Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

PE源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0-500W

射频输出接口

50Ω，N-type，female

功率稳定性

≤5W

气路系统

供气系统

高精度质量流量计（量程可选）

准确度

±1.5%

响应精度

±0.2%

响应时间

气特性：1~4sec，电特性：10sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

压力

≤3MPa

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

真空系统

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

真空度可达10^-1Pa

数显真空测试仪可直观的显示数值