随着超大规模集成电路、微机电系统、精密光学等高新技术领域对超高精度表面和结构需求的不断增加，超精密加工正成为各国争夺的科技“制高点”。超精密加工的本质是通过微观材料的可控添加、迁移或去除实现超高精度表面或结构加工。核心工艺包括超精密切削、超精密磨削与研磨抛光、能量束加工，以及原子级制造等。锚定极限制造，突破国外技术垄断，构建自主可控的超精密加工能力，这是业界共同的战略命题。