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WG-1271超精密减薄机
报价:面议
品牌: 宏华电子
产地: 广东
关注度: 329
型号: WG-1271超精密减薄机
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产品介绍

技术特点:

● 背面减薄到去除应力一体化,缩短了加工以外的作业时间,可以稳定地实施厚度在50μm以下晶圆的薄型化加工和传输。
● 三主轴四工位全自动减薄机,具备晶圆粗磨、精磨、抛光、传输、清洗、撕贴膜全自动精密减薄工艺能力。第三轴可实现干式拋光加工/超精密研削加工(特殊选项)的多样化应用。

 

性能指标:

WG-1240自动减薄机
磨削方式(Z1,Z2)通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
磨削方式通过晶片旋转实施不规则纵向切入式磨削
结构方式3根主轴、4个承片台,1回转工作台
磨削尺寸
mmMax.Ø300(Φ8″-Φ12″)
砂轮直径
-

Φ300 mm Diamond wheel (Z1/z2-axis)

Φ450 mm,Drv polishing pad (z3-axis)
 

磨削主轴类型-高频电机内装式空气主轴
主轴数量-3
定额功率KW7.5
主轴转速rpm1000-4000
承片台装片方式-真空吸附式
承片台类型-多孔陶瓷式(8/12寸兼容)
转速rpm0-300
承片台数量4
测量仪测量范围µm0-1800
分辨率µm0.1
重复精度µm±0.5
物料系统晶片盒数量µm2
晶片盒部流程模式µm同盒/异盒回收水
清洗装置mm清洗及干燥
设备外形尺寸WxD×Hmm1905×3534×1874
设备重量kg6750

 


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肇庆市宏华电子科技有限公司为您提供宏华电子WG-1271超精密减薄机,WG-1271超精密减薄机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了WG-1271超精密减薄机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供片式电容四测试机、全自动薄膜丝印机.、等静压机.。
工商信息
企业名称

肇庆市宏华电子科技有限公司

企业类型

信用代码

91441200682437428C

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