中国粉体网讯 2026年4月15日-16日,由中国粉体网主办的“2026高端研磨抛光材料大会暨半导体与光学材料超精密加工论坛”在河南郑州成功举办!大会期间,中国粉体网邀请到多位业内专家学者做客“对话”栏目,就高端研磨抛光材料、超精密加工技术、相关装备与应用等议题进行了访谈交流。本期为您分享的是北京交通大学教授张志力的专访。

北京交通大学教授张志力
粉体网:张教授您好,请问磁流变抛光技术与传统抛光方法相比,它的核心优势是什么?
张教授:我和团队介入本领域时间不长,我认为各种抛光方法均有其适用范围。
磁流变抛光优势在于:
1)机理--磁控“柔性抛光模”,无接触、无损伤、无应力集中,适合复杂曲面,薄壁,内壁等抛光,不存在传统机械抛光中抛光垫磨损与钝化问题,误差可控,去除函数稳定,亚表面损伤小;
2)工艺--磁流变抛光液可收集,利于循环回收利用。
粉体网:磁流变抛光目前受限于较低的加工效率。请问在提升加工效率方面,当前有哪些技术路径值得关注?
张教授:磁源的技术路径:采用集群式磁场,使工件表面从点接触--面接触;变间隙磁流变抛光,提高材料去除率;
抛光液的技术路径:对磨料和磁颗粒改性,通过化学反应使磨料包覆在磁颗粒表面,以增加磨料和工件的有效接触面积;通过添加化学助剂提高抛光液活性,提高材料去除率;
抛光工艺的技术路径:加工效率主要体现在精抛时间长、效率低,可以依据工件特征细分粗抛阶段和精抛阶段,粗抛阶段以提高材料去除率为主,提高转速和加工间隙,从而提高效率。
粉体网:目前磁流变抛光技术主要应用在哪些高端领域?
张教授:目前主要在光学和光电领域,比如高精尖、定制化的大口径光学元件抛光、磷酸盐激光钕玻璃抛光;精密制造领域,比如医学内窥镜、EUV光刻机物镜抛光;航空发动机叶片修形。
粉体网:我国在磁流变抛光设备方面,国产化进程如何?
张教授:长期深耕于此的有国防科技大学、长春光机所、清华大学、中科院光电所等单位,国产设备有长光大器等企业。
粉体网:这项技术在成本控制、产业化推广等方面面临哪些挑战?
张教授:1)磁流变液的氧化带来的成本问题。目前国外产品的使用寿命普遍长于国内3倍,价格是普通抛光液的10倍。
2)专用和通用抛光设备,机电磁控制一体化和在线质量控制。
3)针对不同材质抛光工艺的通用工艺设计。
(中国粉体网编辑整理/山林)
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