专用设备

• 电子回旋共振等离子体（ECR）系统
• 微波等离子体源
• 微波等离子体火炬（MPT）
• 微波传输系统
• 高稳定程控微波源

半导体行业专用仪器

• 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型
• 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— B型
• 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型

其它无机材料

• MPCVD设备培育的CVD晶种