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微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— B型
报价:面议
品牌: 华宇东升
产地: 四川
关注度: 192
型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— B型
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产品介绍

性能特点:

֍采用特殊材质反应腔,能耐高温

֍高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长

֍使用高精度气体流量计,高稳定性

֍采用纯净的石英窗


主要技术参数:

微波功率0.6kW - 6kW 连续可调  2.45 GHz
反应腔圆柱形反应腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
气体质量流量控制标配5路,可定制
工作气压1kPa - 30kPa
基板台类型水冷式基板台
标准衬底托**支持60mm直径圆台面积稳定沉积
样品台多层升降
操作系统PLC控制系统
样品台升降功能有,可选
样平台旋转功能
旋转模式连续旋转、间歇旋转
旋转角度360°
旋转速度0-20转/分,可调节


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工商信息
企业名称

成都华宇东升微波设备有限公司

企业类型

信用代码

91510122582641763W

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