性能特点：
֍高效，可以在短时间内产生高密度等离子体
֍可通过调节微波功率和气体流量等参数来控制等离子体的密度和温度
֍可反复使用，不会对环境造成污染
֍可应用于表面改性、涂层制备、清洗等
主要技术参数：
微波源输出功率
