型号： MPCVD设备培育的CVD晶种

型号： 高稳定程控微波源

型号： 微波传输系统

型号： 微波等离子体火炬（MPT）

型号： 微波等离子体源

型号： 电子回旋共振等离子体（ECR）系统

型号： 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— C型

型号： 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— B型

型号： 微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系统 —— A型