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微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型
报价:面议
品牌: 华宇东升
产地: 四川
关注度: 508
型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型
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产品介绍

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统

—— A 

   一款典型的微波等离子体化学气相沉积装置,可以在50mm直径的衬底范围内进行金刚石单晶和多晶生长。

应用领域:工具、热沉、光学窗口、宝石等。



    


性能特点:

֍**功率达到6kW

֍微波反应腔新型设计,功率密度大

֍产品沉积速率快、沉积质量高

֍采用水冷全金属腔体

֍采用高效散热的样品台

֍设备安全性高、耐用性高、可靠性强

֍多参数实时监测,PLC屏幕控制,简捷的人机交互界面


主要技术参数:

微波功率

0.6kW -6kW 连续可调 2.45GHz

反应腔圆柱形反应腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
气体质量流量控制标配5路,可定制
工作气压

1kPa - 30kPa

样品台

一层升降

基板台类型水冷式基板台
衬底托**支持60mm直径圆台面积稳定沉积
操作系统

PLC控制系统

样平台升降功能有,可选
样品台旋转功能
旋转模式连续旋转、间歇旋转
旋转角度360°
旋转速度0-20转/分,可调节


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工商信息
企业名称

成都华宇东升微波设备有限公司

企业类型

信用代码

91510122582641763W

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