1 年

高级会员

已认证

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型
报价:面议
品牌: 华宇东升
产地: 四川
关注度: 89
型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型
展位推荐
更多  
产品介绍

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统

—— A 

   一款典型的微波等离子体化学气相沉积装置,可以在50mm直径的衬底范围内进行金刚石单晶和多晶生长。

应用领域:工具、热沉、光学窗口、宝石等。



    


性能特点:

֍**功率达到6kW

֍微波反应腔新型设计,功率密度大

֍产品沉积速率快、沉积质量高

֍采用水冷全金属腔体

֍采用高效散热的样品台

֍设备安全性高、耐用性高、可靠性强

֍多参数实时监测,PLC屏幕控制,简捷的人机交互界面


主要技术参数:

微波功率

0.6kW -6kW 连续可调 2.45GHz

反应腔圆柱形反应腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
气体质量流量控制标配5路,可定制
工作气压

1kPa - 30kPa

样品台

一层升降

基板台类型水冷式基板台
衬底托**支持60mm直径圆台面积稳定沉积
操作系统

PLC控制系统

样平台升降功能有,可选
样品台旋转功能
旋转模式连续旋转、间歇旋转
旋转角度360°
旋转速度0-20转/分,可调节


问商家
相关产品
更多  
微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型

型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型

面议
微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— B型

型号: 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— B型

面议
高稳定程控微波源

型号: 高稳定程控微波源

面议
微波传输系统

型号: 微波传输系统

面议
推荐产品 供应产品
成都华宇东升微波设备有限公司为您提供华宇东升微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型,微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型产地为四川,属于半导体行业专用仪器,除了微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— A型的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供电子回旋共振等离子体(ECR)系统、微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— C型、微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系统 —— B型。
工商信息
企业名称

成都华宇东升微波设备有限公司

企业类型

信用代码

91510122582641763W

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》