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上海研倍新材料是专注高端特种球形粉体研发、工艺开发、定制化生产及粉体后处理的高新技术材料企业,构建原料预处理‑等离子球化‑惰性分级筛分‑惰性封装‑全项理化检测完整闭环产线。拥有多套大功率射频感应等离子球化系统,配套独立研发实验室;配置 SEM 扫描电镜、激光粒度仪、氧氮分析仪、霍尔流动性测试仪、X 射线荧光光谱仪等全套表征设备,实现每批次可溯源检测报告输出。研发团队由材料学博士、粉体工艺工程师组成,针对硅等高活性、高熔点材料完成工艺迭代,可柔性承接 50g 科研试样、公斤级中试、百公斤级工业订单,适配高校院所、新能源企业、增材制造、半导体上下游客户的差异化开发需求。
核心制备工艺:射频感应等离子球化技术
工艺原理
射频感应等离子依靠高频交变电磁场电离高纯氩气形成高温等离子炬,炬区温度可达 8000‑12000K;经过预处理的破碎高纯硅粉,由载气精准送入等离子高温区,颗粒在毫秒级时间窗口完成吸热熔融;熔融硅液滴依靠表面张力驱动完成球化重构,随即进入惰性气氛冷却腔快速凝固,得到近球形单质硅粉体。整套系统无电极接触熔融物料,规避电极烧蚀带来的金属杂质污染;全程密闭惰性气氛,抑制熔融硅的氧化与烧损。
完整工艺流程链路:高纯硅原料筛选→低温破碎 + 除杂预处理→粉体干燥除水→载气均匀送粉→射频等离子熔融球化→梯度惰性气冷→多级惰性分级筛分→粉体后处理除卫星粉→惰性真空封装→理化检测出库。
关键工艺控制维度(硅粉专项工艺调校)
单质硅熔点 1414℃,熔融状态化学活性极强,极易氧化、挥发,球化过程对热场、停留时间、气氛体系极其敏感,公司针对硅材质完成多维度工艺参数固化与优化:
等离子热场与颗粒停留时间管控通过调节射频功率、中心气、鞘气、载气配比,精准控制颗粒在高温区停留时间 0.8‑1.2ms;停留时间不足会出现未熔颗粒,停留过长会造成硅组分挥发损耗、颗粒过烧。通过鞘气组合调控稳定等离子炬形态,抑制炬焰漂移,保障整批次球化率稳定。
送粉系统精细化控制采用惰性气氛密闭送粉器,控制送粉速率均匀稳定;送粉速率过高会出现大量未熔颗粒,速率过低则颗粒过度气化损耗,同时加剧卫星粉生成;搭配前置粉体分散预处理,降低颗粒团聚,保障单颗粒独立进入等离子炬,减少颗粒之间碰撞粘连形成卫星缺陷。
梯度冷却腔体设计摒弃单一骤冷模式,采用分段式惰性气体梯度冷却;避免表层快速结壳、内部仍为液相造成的空心、壳裂缺陷,降低颗粒内部微气孔占比,提升粉体致密度一致性。
全流程闭环控氧体系硅对氧亲和力极强,微量氧即可生成 SiO₂夹杂。从原料预处理、送粉、球化反应腔、筛分分级直至封装全部在低氧惰性密闭环境完成;腔体氧含量在线实时监测;原料破碎环节采用耐磨陶瓷内衬,减少研磨引入金属杂质;成品采用高纯氩气置换真空封装,规避储存阶段二次氧化风险。
后处理分级工艺球化原始粉体经过多级惰性气流分级,筛除大颗粒、未熔颗粒、超细浮尘,降低卫星粉占比,实现目标粒度区间精准截选,优化粉体流动性与松装密度。
本工艺相比 PREP(等离子旋转电极雾化)的技术特点
PREP 工艺以硅棒作为自耗电极,依靠高速旋转离心雾化成粉;硅本身脆性大,高速旋转工况下硅棒易崩裂断棒,设备动平衡控制难度极高,细粉收得率低,主流产出 D50 集中 20‑60μm,以小批量定制为主,成本高昂。
射频等离子球化技术优势:
原料为破碎硅粉,无需制备高难度硅自耗电极棒,规避硅棒断裂、动平衡失效生产风险;
粒度可调窗口宽,可稳定实现 D50 5‑45μm 球形硅粉制备,弥补 PREP 细粉产出短板;
无电极污染风险,批次重复性好,具备中小批量稳定生产能力,综合成本优于 PREP 路线;
局限:粉体杂质基线受破碎原料本底影响,部分颗粒存在微量内部微气孔;极致低氧、全致密大颗粒场景,PREP 路线更具备优势。
球形单质硅粉核心技术指标
| 检测项目 | 技术参数区间 | 备注 |
|---|---|---|
| 基体纯度 | Si:99.9%‑99.99%(3N‑4N) | 可按需定制杂质限值 |
| 典型粒度 D50 | 8‑50μm,多档位可定制 | 支持窄分布筛分定制 |
| 球形度 | ≥0.92 | 优化工况可达 0.94 以上,卫星粉占比低 |
| 氧含量 | 受控水平 | 取决于原料与工艺工况,可按客户上限要求做工艺匹配 |
| 微观形貌 | 近球形颗粒,表面光滑,少量颗粒存在微量内部微气孔 | SEM 全批次抽检 |
| 松装密度 | 0.7‑1.1 g/cm³ | 随粒度变化 |
| 交付形式 | 高纯氩置换真空惰性封装 | 防止储存氧化 |
核心技术亮点,解决行业共性痛点
宽区间粒度柔性定制能力市面球形单质硅粉普遍规格单一;依托等离子参数调校 + 多级惰性分级,同时覆盖超细科研级、锂电用、热喷涂、复合材料用多档粒度,可做窄分布截选,满足不同客户研发与量产的差异化需求。
活性粉体全流程低污染制造体系从破碎内衬材质选型、密闭送粉、等离子腔体、惰性筛分直至封装全链路管控,同时控制金属杂质引入与氧化风险,解决硅粉极易氧化、杂质难控的行业痛点。
大小批量兼容柔性产线架构实验小样产线、中试产线物理分离,小样订单不占用量产产能,快速响应新材料开发打样,缩短客户研发迭代周期;可无缝放大至百公斤级批量交付。
配套粉体工艺技术服务除球形硅粉本体之外,可提供粉体筛分分级、除杂、粉体复合混料等深加工;支持硅基复合粉体联合开发;提供粉体选型、下游工艺适配的技术支撑,输出完整批次检测报告。
主要应用场景
锂电硅碳负极材料:球形单质硅原料,改善粉体流动性、混料加工性能,用于下一代硅基负极开发;
金属增材制造 3D 打印:硅基复合材料 SLM 打印,特种合金前驱粉体;
热喷涂、靶材前驱粉体:真空镀膜靶材配料、特种功能涂层制备;
特种冶金、硅基复合材料、高校科研实验。
交付与选型参考
供货模式:打样小批量、中试批次、长期稳定订单均可承接;
交付输出:惰性真空封装,附带粒度、纯度、氧含量、球形度等检测报告;
定制化方向:基体纯度、目标 D50、粒度分布区间、杂质上限、氧含量指标均可按客户技术协议调整。


