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智能款滑轨式CVD系统:BTF-1200C-SL-L-CVD
一 设备简介:
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑轨式CVD系统。该设备主要分为五大部分:加热系统,真空系统,气体控制供给系统,自动控制移动系统,控制软件系统组成。炉膛为440mm温区炉膛,配K型热电偶,单点控温;加热炉置于滑轨上,可手动在规定的范围内任意滑动到想要的位置并用限位器固定住;气路系统采用4路流量计控制,经由不锈钢混气罐混合,再进入左端进气法兰;左端法兰端盖上预留1路进气口,内部有不锈钢导气管,可将气体导入加热区位置。该设备适用于高校研究所以及研发型企业使用。
二 设备参数:
额定功率:3KW(加热炉膛)
额定电压:AC 220V 50/60HZ
最高温度:1200℃
持续工作温度:≤1100℃
推荐升温速率:≤10℃/min
炉管尺寸:高纯石英管 Φ100*1650mm
加热区长度:440mm
热电偶类型:K型热电偶
控温精度:±1℃
控温方式:10寸触液晶屏触摸控制,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
炉体尺寸: 220*750*1450mm(长*宽*高)
加热元件: 电阻丝
设备净重:约300Kg
END
安徽贝意克设备技术有限公司
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贝意克 2023-11-08 | 阅读:769
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