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日本 UPT 静电夹具用金属箔加热器 50μm 起蚀刻铜箔面状加热元件新品
报价:300元
品牌:
产地: 日本
关注度: 13
型号: 50μm
标签

森泽恒温/加热/干燥设备

森泽50μm

国产恒温/加热/干燥设备

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产品介绍

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静电夹具是一种利用电能来吸附物体的装置。与通过机械方式抓住物体的机械夹具,或是依靠吸力来固定物体的真空夹具相比,静电夹具的优点在于“可以在真空环境中使用”,并且“不会损坏被夹持的物体”。正因如此,静电夹具被广泛用于半导体等超精密设备的制造过程中。


静电夹盘的原理

当晶圆被放置在静电夹盘上时,若在电极上施加电压,晶圆中的正离子和负离子就会分离——正离子会移动到电极的负极,而负离子则移动到电极的正极。这样一来,静电夹盘与晶圆之间就会产生强大的库仑力,从而使晶圆被吸附在静电夹盘上。这就是静电夹盘的原理。

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内置加热器的静电夹具结构

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内置加热器的静电夹具所面临的挑战

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由于半导体晶圆的主流尺寸为300mm,因此为了能够均匀地为晶圆提供热量,加热器的设计就显得非常重要。作为加热器材料的金属箔的发热量呈上升趋势,为了获得所需的发热量,就必须增加电阻值,这就使得铜箔的截面面积以及电路设计变得更加复杂。此外,由于还需要考虑与用于固定的陶瓷板之间的配合关系,因此几乎不可能一次设计就完成所有要求,必须通过反复进行细致的设计调整、制造以及验证才能达到理想效果。

优点

  • 作为一家专注于少量多品种产品的蚀刻加工制造商,UPT公司建立了灵活高效的开发与生产体系。能够及时应对各种细微的设计变更,共同打造令客户满意的产品设计。

  • 也可用于450毫米晶圆

  • 如果您提供以聚酰亚胺(PI)作为涂层材料的铜箔,UPT公司可对其进行蚀刻加工。他们拥有完善的品质控制体系,可确保对所有产品进行彻底检测。

静电夹具用加热器产品概述

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要点①

无需模具的蚀刻加工是尺寸精度也为板厚比的±20%

金属箔加热器是通过先进的技术制造的,该技术能够将经过高质量控制的金属箔的变形程度降低,因此不会产生任何杂质或瑕疵。其加工精度可达±20%,属于高精度产品。此外,由于在加工过程中不需要专用模具,所以这种工艺非常适合进行试切测试。

要点②

也适用于大型加热器

本公司能够处理尺寸为不超过600mm×900mm的工件进行蚀刻加工,因此该技术也适用于450mm尺寸的晶圆加热器。当然,对于300mm尺寸的晶圆,UPT也有丰富的加工经验,且具备很高的生产效率。

要点

先进的检测体系

配备先进人工智能技术的图像检测设备,已开始在集团旗下的各生产工厂中得到应用。这类设备的缺陷检测能力正在不断提升,从而有助于提高产品合格率并提升产品质量,进而构建起完善的品质保障体系。

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静电夹具用加热器规格

规格项目内容
目标金属种类
目标金属板厚50μm
加工精度蚀刻加工精度:<20%(以金属板厚度为准)
(假设仅对单面进行蚀刻)
加工方法请提供纯铜材料,或是经过绝缘处理的铜板,以便进行蚀刻加工。


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产品小贴士

日本 UPT 静电夹具用金属箔加热器 50μm 起蚀刻铜箔面状加热元件由深圳森泽工业品有限公司提供,产地为日本,属于进口恒温/加热/干燥设备,符合多项国家和国际标准,广泛应用于食品/饮料、石油/化工、矿业/冶金、轻工业、能源等领域,日本 UPT 静电夹具用金属箔加热器 50μm 起蚀刻铜箔面状加热元件凭借其创新性与实用性,在恒温/加热/干燥设备用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据森泽官方产品资料显示:日本 UPT 静电夹具用金属箔加热器 50μm 起蚀刻铜箔面状加热元件的价格为300元,具体型号是50μm。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
日本新热工业 SHINNETSU 过热蒸汽发生器 水蒸气加热器ASH 系列 ASH 系列 进口 300元
日本 KDN 块状加热器式热压机 BHP 系列 BHP 系列 进口 300元
日本 INTEC KE-2S 热应力测定装置(钟纺式合纤长丝热应力测试仪) KE-2S 进口 300元

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36777/productsdetail_395701.html
来源:深圳森泽工业品有限公司
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工商信息
企业名称

深圳森泽工业品有限公司

企业类型

信用代码

91440300MAKDH8EP3N

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注册资本

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