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锭研磨设备
报价:面议
品牌:
产地: 武汉
关注度: 53
型号: CHDY005-01
标签

半导体行业专用仪器

CHDY005-01

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

设备型号

CHDY005-01


功能特点

高精度无应力铸件底座;高刚性,高功率且低振动的空气主轴;可实现晶锭干进干出的全自动加工;可实时监控关键加工信息的软件系统;优异的面型控制和粗糙度等产品参数。


应用场景

主要用于半导体晶锭的研磨处理,为后续激光加工提供良好的基础,适用于多种半导体材料的晶锭研磨,如硅、碳化硅等。


产品参数


项目

参数

晶圆尺寸

Φ6,Φ8英寸

工作台移动方式

Index转位式

砂轮规格

Φ300 mm 金刚石砂轮

主轴数量

2个

工作台数量、转速

3个,0~300rpm

Z轴进给速度

0.1um~80um/s

厚度检测方式

IPG(双探头接触式测厚方式)

厚度在线测量范围

0~50mm

主轴

功率

7.5KW/ 11KW

转速

1000 ~ 4000min‐1

面型PV

Φ6≤ 1.5μm,Φ8≤ 2μm

THK偏差

   ± 3μm

Roughness

Ra≤ 5nm


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型号: CH002

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碳化硅滚圆机

型号: CHDY006

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产品小贴士

锭研磨设备由硅来半导体(武汉)有限公司提供,产地为武汉,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,锭研磨设备凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:锭研磨设备的型号是CHDY005-01。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
碳化硅滚圆机 CHDY006 国产 电议
激光打标设备 CHDY004 国产 电议
衬底激光成片设备 CH002 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36592/productsdetail_388853.html
来源:硅来半导体(武汉)有限公司
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硅来半导体(武汉)有限公司为您提供锭研磨设备,锭研磨设备产地为武汉,属于半导体行业专用仪器,除了锭研磨设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅滚圆机、激光打标设备、衬底激光成片设备。
工商信息
企业名称

硅来半导体(武汉)有限公司

企业类型

信用代码

91420100MADB0UGQ78

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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