大幅面白光干涉显微镜 Micro L 产品中心

苏州瑞霏光电科技有限公司

1 年

高级会员

已认证

首页

公司介绍

产品中心

访客留言

联系我们

大幅面白光干涉显微镜 Micro L

报价：面议

品牌：
产地：	江苏
关注度：	204
型号：	Micro L

标签

半导体行业专用仪器

Micro L

国产半导体行业专用仪器

展位推荐

激光受激损耗超分辨光学显微镜

全自动晶圆几何形貌测量系统 WT-i

全自动晶圆内应力检测仪 SV-i

产品介绍

采用双白光干涉测量模组系统架构：0.5x干涉测量模组实现大视场区域平面度自动测量，同时兼容2.5x-50x干涉物镜的显微干涉测量模组实现高横向分辨率三维重构。 0.5x干涉模组能够自动对焦调平，可以实现批量自动化区域平面度干涉测量功能，能够覆盖从光滑抛光面到台阶表面的各种样品平面度测量。相比普通白光干涉显微镜，本设备具有单次测量视场大，测量12.8*12.8mm无需拼接的优势。

产品编号

Micro L-Pro

所属分类

半导体制造量检测产品方案

精密光学量检测产品方案

白光干涉显微镜系列

三维测量显微镜

高端三维测量显微镜系列（通用型）

查看全部产品

三维测量显微镜

优势

✔️ 具备纳米级纵向分辨率，可满足超光滑抛光表面测量分析

✔️ 简单、精确、快速、可重复的测量方式

✔️ 单次测量视场大，芯片翘曲测量无需拼接

✔️ 高效率大区域三维轮廓测量能力

功能

✔️ 表面翘曲/3D微结构测量

✔️ 白光干涉（PSI/VSI）：纳米级测量精度

✔️ 大面积3D轮廓扫测

✔️ 适合高效率高精度宏微观三维测量

适用对象

精密抛光元件，微纳加工器件，金属机加工零件等

测量原理

采用双白光干涉测量模组系统架构，通过不同倍率干涉显微系统实现区域和微观三维测量。
白光干涉显微测量原理：采用白光光源，将非相干光干涉和大视场显微成像技术相结合，高精度重构微观三维轮廓，纵向测量分辨率可达到亚纳米量级

从产品研发到质量控制，Micro L_Pro 可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。

Micro1000 技术规格

项目		参数
技术参数	测量模式	PSI / VSI / 明场（绿光/白光双光源）
	单次测量视场（0.5x 物镜）	16.8*12.8mm (可自动拼接更大面积）)
	单次测量视场（20x 物镜）	0.5*0.35mm (可自动拼接更大面积）)
	纵向扫描范围	0-10mm
	可测样品反射率	0.1%-100%
	纵向分辨率(0.5x干涉模组）	< 1 nm
	纵向分辨率(20x物镜白光干涉模组）	<0.2 nm
	高度测量示值误差	< 0.75 %
	粗糙度RMS重复性	0.01 nm(20x干涉物镜)
	横向分辨率：@550nm	11μm (0.5x干涉物镜)，0.69μm (20x干涉物镜)
	测量时间	＜5s （PSI模式）
	XY平移台	150 mm 行程，10 kg 负载
	Z轴位移台	90 mm 行程
	水平调整	± 13°
分析功能	分析功能	三维高度测量，三维粗糙度分析，二维尺寸测量
分析功能	3D数据输出	3D点云数据，灰度图像数据，订制报告

Micro L-Pro 操作简便，测量功能完善，涵盖纳米级微观三维轮廓，粗糙度和二维尺寸分析，通用性强，精度高，助力我们的客户在精密制造和材料研发中处于**地位。

问商家

大幅面白光干涉显微镜 Micro L的工作原理介绍？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L的使用方法？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L多少钱一台？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L使用的注意事项
大幅面白光干涉显微镜 Micro L的说明书有吗？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L的操作规程有吗？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L的报价含票含运费吗？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L有现货吗？
大幅面白光干涉显微镜 Micro L包安装吗？
0有办事机构吗？
0销售电话是多少？

相关产品

三维测量显微镜 Micro1000

型号： Micro1000

面议

激光受激损耗超分辨光学显微镜

型号： Micro5000

面议

多模式三维测量显微镜 Micro2000

型号： Micro2000

面议

晶圆内应力检测仪 Strain Viewer

型号： Strain Viewer

面议

产品小贴士

大幅面白光干涉显微镜 Micro L由苏州瑞霏光电科技有限公司提供，产地为江苏，属于国产半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于综合其他等领域，大幅面白光干涉显微镜 Micro L凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。

根据官方产品资料显示：大幅面白光干涉显微镜 Micro L的型号是 Micro L。

在同系列产品中，您还可以选择以下型号:

产品名称	型号	产地类型	价格
激光受激损耗超分辨光学显微镜	Micro5000	国产	电议
全自动晶圆几何形貌测量系统 WT-i	WT-i	国产	电议
全自动晶圆内应力检测仪 SV-i	SV-i	国产	电议

官方链接：
https://m.cnpowder.com.cn/ns36341/productsdetail_385956.html
来源：苏州瑞霏光电科技有限公司

推荐产品供应产品

苏州瑞霏光电科技有限公司为您提供大幅面白光干涉显微镜 Micro L，大幅面白光干涉显微镜 Micro L产地为江苏，属于半导体行业专用仪器，除了大幅面白光干涉显微镜 Micro L的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供激光受激损耗超分辨光学显微镜、全自动晶圆几何形貌测量系统 WT-i、全自动晶圆内应力检测仪 SV-i。

工商信息

企业名称

苏州瑞霏光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320585MA1X1FRW9W

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询