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晶圆内应力检测仪 Strain Viewer
报价:面议
品牌:
产地: 江苏
关注度: 178
型号: Strain Viewer
标签

半导体行业专用仪器

Strain Viewer

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍


具备化合物晶圆和蓝宝石晶圆内应力分布定量测量及缺陷定位筛查的功能


产品编号

 

SV200, SV300

所属分类

 

半导体制造量检测产品方案

 

晶圆内应力检测仪(SV系列)


Strain Viewer 技术规格

产品型号SV200SV300
样品测量口径兼容2-8英寸晶圆 (200*200mm) 可订制化样品载台兼容2-12英寸晶圆 (300*300mm) 可订制化样品载台
应力测量输出内容 相位延迟(°)及光学延迟(nm)归一化延迟(nm/mm)综合应力(MPa)及方位角
测量光源630nm LED光源 (可选配其它光源)
尺寸量测横向分辨率25μm
应力测量范围0~150nm光学延迟
方位角测量范围0-180 °
测量重复性0.5nm光学延迟,0.5 °方位角
测量准确性±1nm光学延迟,  ±1.5 °方位角
应力图像解析度1600 万像素 (@6英寸晶圆)3400 万像素 (@8英寸晶圆) 7700 万像素 (@12英寸晶圆)
单次测量时间典型<35秒(@6英寸晶圆)<50秒(@8英寸晶圆) <1.5分钟(@12英寸晶圆)
样品载台大尺寸电动XY位移台: 250*350mm 支持自动拼接大尺寸电动XY位移台: 320*700mm 支持自动拼接
微管缺陷计数模块可选配
设备尺寸一体式机柜:870mm* 950mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统一体式机柜:1050mm* 1230mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统

 

瑞霏光电内应力检测仪将晶圆全口径内应力数值、方位角等分析整合进入一键测量,确保我们的客户能够快速确认工艺和生产管控。


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产品小贴士

晶圆内应力检测仪 Strain Viewer由苏州瑞霏光电科技有限公司提供,产地为江苏,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,晶圆内应力检测仪 Strain Viewer凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:晶圆内应力检测仪 Strain Viewer的型号是Strain Viewer。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
激光受激损耗超分辨光学显微镜 Micro5000 国产 电议
大幅面白光干涉显微镜 Micro L Micro L 国产 电议
全自动晶圆几何形貌测量系统 WT-i WT-i 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36341/productsdetail_385953.html
来源:苏州瑞霏光电科技有限公司
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苏州瑞霏光电科技有限公司为您提供晶圆内应力检测仪 Strain Viewer,晶圆内应力检测仪 Strain Viewer产地为江苏,属于半导体行业专用仪器,除了晶圆内应力检测仪 Strain Viewer的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供激光受激损耗超分辨光学显微镜、大幅面白光干涉显微镜 Micro L、全自动晶圆几何形貌测量系统 WT-i。
工商信息
企业名称

苏州瑞霏光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320585MA1X1FRW9W

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成立日期

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