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多模式三维测量显微镜 Micro2000
报价:面议
品牌:
产地: 江苏
关注度: 317
型号: Micro2000
标签

半导体行业专用仪器

Micro2000

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

结合纳米级白光干涉测量,光谱共焦扫描和超景深图像融合三种测量模式于一体,具有极高的应用场景适应性

产品编号

 

Micro2000

所属分类

 

半导体制造量检测产品方案

 

精密光学量检测产品方案

 

白光干涉显微镜系列

 

三维测量显微镜

 

高端三维测量显微镜系列(通用型)

 

查看全部产品

 

三维测量显微镜

优势

✔️ 优越的表面粗糙度测量能力(亚纳米级至微米级)

✔️ 高效率大区域三维轮廓测量能力 (数微米级测量区域至百毫米级测量区域)

✔️ 高清晰大区域超景深成像能力

 

功能

✔️ 表面粗糙度/3D微结构测量

✔️ 白光干涉(PSI/VSI):Ra测量精度0.1nm

✔️ 光谱共焦大面积3D轮廓扫测

✔️ 超景深测量
✔️ 适合高效率高精度宏微观三维测量

适用对象

精密抛光元件,微纳加工器件,金属机加工零件等

 

适用领域

✔️ 半导体晶圆(三维台阶,表面粗糙度,三维翘曲轮廓, 厚度测量)

✔️ 各种加工工艺表征 (粗糙度, 平整度, 表面质量)

 

测量原理

  • 白光干涉显微测量原理:采用白光光源,将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结合,高精度重构微观三维轮廓,纵向测量分辨率可达到亚纳米量级

  • 区域三维轮廓扫描原理:光谱共聚焦测量原理

 

从产品研发到质量控制,Micro 2000 系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。

Micro2000 技术规格

 

项目参数
基本参数测量模式PSI / VSI/ 光谱共焦扫描 / 超景深测量
光源白光绿光双光源 LED / 激光
影像系统1920×1200
干涉物镜20x(其它倍率可选配)
明场物镜5x, 10x, 50x, 100x
视场0.55mm×0.35mm(20x物镜)
物镜塔台5孔电动物镜塔台
XY平移台移动范围200×200mm 可选配 300×300mm
负载20kg
控制方式电动
水平调整±10°
Z轴行程20mm
聚焦控制方式电动
白光干涉测量模式Z向扫描范围10mm
Z向分辨率0.1nm
可测样品反射率0.1%~100%
粗糙度RMS重复性0.005nm (*1)
台阶测量准确度<0.8% (*1)
重复性0.08% (*1)
光谱共焦扫测模式Z向测量范围3mm
Z向分辨率6nm
线性度±0.75μm
XY扫描范围100 x 100mm
超景深测量模式Z向测量范围10mm
XY测量范围100x100mm
Z向分辨率1μm (*2)
分析功能    · 拼接测量,选区测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能
    · 提供调平位置、去噪、滤波、多项式拟合、数据修补等数据处理功能
    · 提供三维粗糙度分析、三维轮廓分析、截面线分析等三维分析功能
    · 提供二维影像分析功能:测量平面轮廓尺寸(长度,间距,半径等)
    · 配备激光辅助干涉条纹定位功能
    · 防撞保护功能:可设置防撞保护

 

*1 数据通过在恒温隔振条件下重复测量超光滑标准平面镜和10μm台阶标准片获得

*2 数据会根据所选物镜倍率发生变化


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产品小贴士

多模式三维测量显微镜 Micro2000由苏州瑞霏光电科技有限公司提供,产地为江苏,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,多模式三维测量显微镜 Micro2000凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:多模式三维测量显微镜 Micro2000的型号是Micro2000。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
激光受激损耗超分辨光学显微镜 Micro5000 国产 电议
全自动晶圆内应力检测仪 SV-i SV-i 国产 电议
大幅面白光干涉显微镜 Micro L Micro L 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36341/productsdetail_385954.html
来源:苏州瑞霏光电科技有限公司
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苏州瑞霏光电科技有限公司为您提供多模式三维测量显微镜 Micro2000,多模式三维测量显微镜 Micro2000产地为江苏,属于半导体行业专用仪器,除了多模式三维测量显微镜 Micro2000的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供激光受激损耗超分辨光学显微镜、全自动晶圆内应力检测仪 SV-i、大幅面白光干涉显微镜 Micro L。
工商信息
企业名称

苏州瑞霏光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320585MA1X1FRW9W

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