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碳化硅衬底1

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品牌：	思莱克
产地：	上海
关注度：	803
型号：	碳化硅衬底1

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碳化硅粉

碳化硅衬底1

国产碳化硅粉

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产品介绍

碳化硅衬底清洗检测

经过研磨和抛光后的碳化硅衬底，表面虽然已经达到了很高的平整度，但仍然可能残留着一些有机污染物、金属污染物以及微小的颗粒。为了确保衬底的洁净，我们需要进行严格的清洗，确保外延或器件制造的表面质量，清洗后通过形貌、晶体缺陷、电学性能等多维度检测验证碳化硅衬底质量。

碳化硅衬底的技术参数

8英寸N型碳化硅衬底 - 产品规格
属性	规格			单位
属性	P	R	D	单位
直径	200±0.5			mm
厚度	500/350(- 25,25)			μm
表面偏离晶向	4°toward [11-20]±0.5°
缺口方向	Perpendicular to the [11-20]±5°
边缘排除	3			mm
翘曲度	≤40	≤100		μm
弯曲度	±25	±60	±80	μm
总厚度偏差	≤10	≤15		um
位错密度-EPD	≤7000	≤12000	无要求	/cm2
位错密度-TSD	≤500	≤1000		/cm2
位错密度-BPD	≤1300	≤2000		/cm2
微管密度	≤1	≤5		/cm2
高强度光照多型性	4H 100%	4H 95%		% area
电阻率	0.015-0.028			Ω .cm
表面粗糙度（Si）	<0.2			nm
表面粗糙度（C）	<2			nm
高强度光刻板	无	≤5ea, Edge 3mm inside, a single size <0.3mm		nm
残留金属污染 (Al,Cr, Fe, Ni, Cu, K, Ti &Mn)	<5E10	<1E11		atoms/cm2
封装	多晶圆盒/单晶圆盒

6英寸N型碳化硅衬底 - 产品规格
属性	规格					单位
属性	Z		P	R	D	mm
直径	150±0.25					μm
厚度	350(-25,25)
表面偏离晶向	4.0°towards [11-20]±0.5°
缺口方向	Perpendicular to the [11-20]±5°					mm
主平面长度	47.5 ± 1.5					mm
边缘排除	3					μm
翘曲度	≤25	≤35	≤45	≤60		μm
弯曲度	±10	±15	±25	±40		μm
总厚度偏差	≤5	≤8	≤10	≤15		/cm2
位错密度-EPD	≤4000	≤6000	≤8000	≤ 12000	无要求	/cm2
位错密度-TSD	≤200	≤300	≤500	≤800		/cm2
位错密度-BPD	≤800	≤1000	≤1500	≤2000		/cm2
微管密度	≤0.2	≤0.2	≤0.5	≤0.1		% area
高强度光照多型性	4H 100%			4H 98%	4H 97%	% area
高强度光检测六边形	无			≤1%	≤3%	Ω .cm
电阻率	0.015-0.025		0.015-0.028	0.010-0.030		nm
表面粗糙度（Si）	<0.2					nm
表面粗糙度（Si）	<1			<2
高强度光检测的裂缝	无
高强度光检测的硅表面划痕	无			≤3ea, each ≤10mm		mm
累计划痕长度 (By 8520)	≤75	≤100	≤150	无要求
边缘缺口	无
边缘轮廓	SEMI M55-0817
高强度光检测的污渍	无
残留金属污染 (Al,Cr, Fe, Ni, Cu, K, Ti &Mn)	< 5E10	<1E11
封装	多晶圆盒/单晶圆盒

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产品小贴士

碳化硅衬底1由上海思莱克工业科技有限公司提供，产地为上海，属于国产碳化硅粉，符合多项国家和国际标准，广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域，碳化硅衬底1凭借其创新性与实用性，在碳化硅粉用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。

根据官方产品资料显示：碳化硅衬底1的品牌为思莱克。

在同系列产品中，您还可以选择以下型号:

产品名称	品牌	型号	产地类型	价格
碳化硅衬底	思莱克	碳化硅衬底	国产	电议
碳化硅晶体	思莱克	碳化硅晶体	国产	电议
碳化硅籽晶衬底	思莱克	碳化硅籽晶衬底	国产	电议

官方链接：
https://m.cnpowder.com.cn/ns36093/productsdetail_382545.html
来源：上海思莱克工业科技有限公司

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上海思莱克工业科技有限公司为您提供思莱克碳化硅衬底1，碳化硅衬底1产地为上海，属于碳化硅粉，除了碳化硅衬底1的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供碳化硅衬底、碳化硅晶体、碳化硅磨粉机配件。

工商信息

企业名称

上海思莱克工业科技有限公司

企业类型

信用代码

91310000MAEP233G44

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围