型号： F50 系列 自动化薄膜测绘

型号： ION WAVE 10 批次等离子系统

型号： IoN 100 筒式等离子体反应器

型号： 晶圆清洗蚀刻机

型号： 巨量转移晶圆植球机

型号： 晶圆划片机

型号： 全自动匀胶/显影设备

型号： Stepper光刻机

型号： 晶圆键合机

型号： 半自动/全自动接触式光刻机