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LDI激光直写光刻机
报价:面议
品牌: 科毅科技
产地: 广东
关注度: 36
型号: LDI激光直写光刻机
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产品介绍

项目

参数

支持基板尺寸

12inch(兼容8inch)

分辨率

L/S 2/2μm;Hole 4μm

套刻精度

正面±0.6μm、背面优于2μm

光源类型

LD

产能

40WPH


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工商信息
企业名称

科毅科技股份有限公司

企业类型

信用代码

91110000102111430H

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注册资本

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