半导体行业专用仪器

• 半自动/全自动接触式光刻机
• 晶圆键合机
• Stepper光刻机
• 全自动匀胶/显影设备
• 晶圆划片机
• 巨量转移晶圆植球机
• 晶圆清洗蚀刻机
• IoN 100 筒式等离子体反应器

光学仪器及设备

• 紫外线强度计
• LDI激光直写光刻机
• 三维光学轮廓仪

测量/计量仪器

• 台式薄膜厚度测量系统
• DektakXT探针式轮廓仪
• F54 自动化薄膜测绘

其他除尘设备

• DUV/EUV光罩除尘机

粉体焙烧炉

• RTP快速退火炉

清洗/消毒设备

• 等离子清洗机