光学仪器及设备

• OPF-H-C系列高性能气浮隔振光学平台
• OPF-H系列蜂窝气浮隔振光学平台
• OPP-H系列蜂窝精密阻尼隔振光学平台
• OPD-H系列蜂窝阻尼隔振光学平台
• OPX-NM系列全无磁隔振光学平台
• OPX-J系列拼接/光学平台
• 美国Newport光学平台
• 266nm连续激光器

光谱检测分析仪

• 显微共聚焦拉曼光谱仪
• 倒置共聚焦拉曼成像光谱仪
• 经济型显微共聚焦拉曼光谱仪
• 圆偏振发光光谱仪
• 振动圆二色光谱仪
• 高性能圆二色光谱仪

其他

• 共聚焦拉曼显微镜
• 显微共聚焦拉曼与扫描电镜联用系统（拉曼-SEM）
• 原子力显微镜

成像系统

• 超低温强磁场拉曼成像系统

测量/计量仪器

• 显微PL光谱测量系统

半导体行业专用仪器

• 主动隔振系统（电子显微镜、半导体设备专用）