主要应用于微纳器件测量、精密仪器设备、精密光学测量、超快光谱实验、高分辨成像、激光干涉实验、光刻机等对振动有非常高要求的仪器设备等。

技术参数：

l   固有频率：1～2Hz（垂直），1～1.8Hz（水平）

l   隔振效率：垂直隔振82%-90%@5Hz，85%-94%@10Hz；水平隔振77%-87%@5Hz，83%-92%@10Hz；

l   重复定位精度：±0.10mm

l   气浮隔振支架：双层气室，3个进口水平调节阀，整体焊接结构，每个气浮腿上面都配有气囊限位保护器，延长气囊使用寿命

l   台面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l   台面平面度：≤±0.1mm/m2

l   台面粗糙度：0.6~1.5μm

l   台面孔间距：25mm（机械打孔），孔径：M6螺纹孔，孔边距：37.5mm

l   总高度：800mm，可调范围：±10mm

l   无油静音气泵，噪音<50db

主要结构特性：

l   水平方式：自动充气，自动平衡

l   隔振方式：空气弹簧

l   气囊：采用先进的高性能复合材料，带气囊限位保护器，延长气囊使用寿命

l   隔振支架：

     -整体焊接结构，采用进口机器人自动焊接成型，美观大方，无毛刺

     -先进的喷漆工艺，保证长时间即使在较恶劣的环境下也不会掉漆生锈

     -可升降的万向滑轮方便用户挪动位置

l   台面构造：

     -面板：~5mm厚SUS430不锈钢，表面哑光处理，喷有防锈剂

     -内芯：桁架式六角蜂窝芯结构

     -下底板：~5mm厚碳钢，喷有防锈漆，表面光亮平整

l   台面侧边：优质的黑色铝塑板装饰，外加封胶处理，4个角用不锈钢钢板包角处理，整体美观大方

选型表：