型号： DRY-60A型热处理炉（电动）

型号： 水平双腔外延炉

型号： 单腔立式外延炉

型号： 第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备

型号： 915MHz微波等离子体沉积系统(裂缝天线耦合)

型号： 裂缝耦合微波等离子体沉积系统

型号： 抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

型号： 小圆柱式微波等离子体沉积（CVD）系统