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单腔立式外延炉
报价:面议
品牌: 杭州晶驰
产地: 浙江
关注度: 359
型号: 单腔立式外延炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

产品详情

       1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;

   

       2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长;

   

       3、更长的维护周期,更低的耗材成本;


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工商信息
企业名称

杭州晶驰机电科技有限公司

企业类型

信用代码

91330109MA2KHL3N6A

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