型号： 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

型号： MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

型号： PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备

型号： LPCVD 低压化学气相沉积设备

型号： HFCVD 热丝化学气相沉积设备

型号： 化合物半导体