半导体行业专用仪器

• 化合物半导体
• HFCVD 热丝化学气相沉积设备
• LPCVD 低压化学气相沉积设备
• PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备
• MOCVD 金属有机化学气相沉积设备
• 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

专用设备

• 高真空电阻热蒸发镀膜机
• 高真空电子束蒸发镀膜机

其他测试设备

• 分子束外延薄膜生长设备(MBE)

金刚石微粉

• 金刚石散热晶圆片

制样/消解设备

• 高真空磁控溅射仪