半导体行业专用仪器

• 氮化镓（GaN）HVPE单晶生长设备 卧式
• 氮化镓（GaN）HVPE单晶生长设备 立式
• PVT单晶生长设备
• SiC籽晶粘接设备
• MPCVD设备
• SiC高温氧化设备
• SiC高温退火设备
• 坩埚下降设备
• LPCVD 卧式
• LPCVD 设备立式
• PECVD 设备 卧式
• 氧化/扩散设备
• 真空退火设备
• LPE外延炉
• 晶体提拉设备
• 石墨烯薄膜CVD设备
• 石墨烯卷对卷设备
• 籽晶粘接设备

粉体焙烧炉

• 立式炉
• 卧式炉
• SiC高温氧化炉
• SiC高温退火炉
• LPCVD立式炉
• LPCVD卧式炉
• PVT法长晶炉
• 液相法长晶炉
• HVPE长晶炉
• 导模法长晶炉
• 垂直布里奇曼法（VB）炉（非铱技术）
• HVPE外延炉
• MPCVD长晶炉
• 坩埚下降炉