衬底:2/4/6/8英寸

Substrate size :2/4/6/8 inches　基板サイズ：２/4/6/８インチ

数量:1片/多片

Quantity:1pcs/multiple pcs　数量：１枚/複数枚

控温精度:精度高，温区稳定性好

Temperature control precision : High temperature

 control precision and good statlity in temperature zone

温度制御精度：高精密度、温度帯での安定性が高い

结构:立式/卧式可选，满足多种尺寸衬底多种

操作方式需要

Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.

構造：縦型/横型(オプション)、複数の基板サイズ及び動作モードのニーズに対応

安全保护功能:硬件保护+软件互锁

Security protection: Hardware protection+software interlock