真空室结构:

立式钟罩上升盖

真空室尺寸:

φ600×H800mm

极限真空度:

1.0E-5Pa

沉积源:

无

样品尺寸，温度:

设计待定

占地面积（长x宽x高）:

约2米x2米x2米

电控描述:

电控系统可实现系统供电，真空度采集，加热电源功率控制，水冷系统报警灯等功能