专用设备

• PVD镀膜设备
• 高真空磁控溅射薄膜沉积系统--PVD400
• 高真空磁控溅射薄膜沉积系统--PVD500
• SMART磁控溅射薄膜沉积系统
• 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统--PLD300
• 高真空有机及热阻蒸发薄膜沉积系统--DZ350
• 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900
• 高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统---PECVD+热丝CVD400

真空炉

• 大型高真空退火炉
• 小型超高真空退火炉
• 高真空钎焊炉设备--QHL550

真空泵

• 螺杆干式真空泵JLG-1100A
• 涡旋干式真空泵

箱式炉

• 泡生法蓝宝石晶体生长炉
• 碳化硅晶体生长炉

泵

• 罗茨干式真空泵GH-80A
• 双侧无油涡旋泵

管式炉

• 导模法蓝宝石晶体生长炉