中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称 “公司”）创建于1958年，公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米。多年来，公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术开发实验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程研究中心” 等科研平台。公司主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。公司产品主要包括系列罗茨干泵、系列涡旋干泵、大科学装置、真空薄膜仪器设备和新材料制备设备等。公司承担了国家“863计划”、 “02专