高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900
报价:面议
品牌: 沈阳科学仪器
产地: 辽宁
关注度: 530
型号: 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统--EB900
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产品介绍

产品概述:
系统主要由蒸发室、主抽过渡管路、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、控制系统、安装机台等部分组成,体现立方整体外观,适用于超净间间壁隔离安装,操作面板一端处在相对要求较高超净环境,其余部分(含低温泵抽系统)处在相对要求较低超净环境。

设备用途:
本系统配有一套电子枪及电源,可满足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多种金属和介质膜基片上均匀沉积多层膜的需要。

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企业名称

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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912101004105812660

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