真空室结构:

方形前开门

真空室尺寸:

φ400x400x400mm

极限真空度:

≤6.6E-5Pa

沉积源:

永磁靶3套，φ2英寸

样品尺寸，温度:

φ4英寸，1片，**800℃

占地面积（长x宽x高）:

约1.8米×1.7米×2米

电控描述:

全自动

工艺:

片内膜厚均匀性：≤±3%