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RTP-小型快速退火炉

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产品介绍

RTP-小型快速退火炉

产品应用：该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验。

产品应用：

该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、

快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验

产品特点：

可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，

温控精度高,**升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。

产品名称	RTP-小型快速退火炉
产品型号	RTP-G11103-K
额定功率	9KW
额定电压	220AC 50/60Hz
**温度	1000°C
连续工作	950°C(<1 小时)
加热区长度	300mm
恒温区长度	100mm
加热元件	红外灯管
温度控制	国产程序控温系统可编程50段程序控温；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
炉管材质	石英管
滑动距离	355mm
滑动方式	手动滑动
建议升温速度	室温900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
标准配置	气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。