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1200℃集成型自动小型PECVD系统
报价:面议
品牌: 中环
产地: 天津
关注度: 3516
型号: 1200℃集成型自动小型PECVD系统
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产品介绍

产品用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置;

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(单独购买)

产品特性;

电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

1200xiaopecvdbiao1.png
 
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工商信息
企业名称

天津中环电炉股份有限公司

企业类型

信用代码

91120113700587236G

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