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1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统

报价：面议

品牌：	中环
产地：	天津
关注度：	3634
型号：	1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统

展位推荐

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1800℃不锈钢节能箱式电炉

产品介绍

产品用途：

产品专业性：

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成：

PECVD系统配置：

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统（可选配中真空或高真空）

产品特点：

生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。

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工商信息

企业名称

天津中环电炉股份有限公司

企业类型

信用代码

91120113700587236G

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围