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高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210
报价:面议
品牌: | 贝意克 |
产地: | 安徽合肥 |
关注度: | 41 |
型号: | BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210 |
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:铁铬铝丝
烧结气氛:真空
温控精度:±1℃
最高温度:1200℃
额定温度:≤1100℃
产品介绍
一、产品特色
1、开启式加热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立8点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
2、开启式预热炉
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配K型热电偶,上下独立4点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。
3、气路系统可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比,同时可同PLC进行联动控制。
4、反应管组件
反应管组件使用石英管,两端带水冷法兰组件快开卡箍,方便拆装维护清理。
5、智能控制系统
采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
二、技术参数
**温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 电阻丝 |
热电偶 | K型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 |
加热总功率 | ≤27KW |
加热区尺寸 | 100+200mm(预热炉),100+200+200+200mm(加热炉) |
真空度 | ≤5pa |
设备尺寸 | 3900*1200*2000mm |
设备重量 | 约1300KG |
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工商信息
企业名称
安徽贝意克设备技术有限公司
企业类型
信用代码
91340100591423143H
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围