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芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液新品
报价：300元
品牌：
产地： 芬兰
关注度： 16
型号： Polaris™ PR53S
核心参数

误差率：≤±1.8%

分辨率：0.1%

重现性：≤±1.2%

分散方式：红外辐射加热 + 样品平铺受热均匀分散

测量时间：0‑99min可调

测量范围：湿基 0~100%、干基 0~500%，称量 0.5-120g

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森泽Polaris™ PR53S

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产品介绍

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维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪


用于半导体湿法工艺的实时在线化学浓度测量

维萨拉 Polaris™ PR53S 是一款紧凑型在线折光仪，专为半导体液体化学应用设计。其改良的 PTFE 流通池和 ¼-1 英寸 Pillar 或 Flare 式连接，可实现与湿法机台、化学分配系统及工艺工具在混合、清洗、蚀刻和 CMP 步骤中的无缝集成。

PR53S 可在洁净室环境和集成工艺工具中持续实时测量化学浓度，帮助在多个阶段实现精准的工艺控制。

凭借高度准确、可靠且可重复的测量，PR53S 能够通过在线折射率测量，替代在批量分配、混合和使用点监测等环节中使用的复杂且昂贵的分析仪。


为要求严苛的化学品和研磨液提供稳定一致的化学控制

可对多种化学品进行准确测量，包括要求严苛的研磨液应用。即使存在气泡、颗粒或晶体，也能保持可靠性能，确保在实际工艺中提供稳定、可信的数据。

Polaris PR53S 非常适合精细化工和半导体行业中的化学品混合与监测，传承了维萨拉 K-PATENTS® 在线折光仪系列 40 余年的创新成果。作为新一代 PR53 系列的一部分，它为现代工艺环境带来了更高的分辨率和更佳的兼容性。

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适用于维萨拉 Polaris™ 在线折光仪的 Indigo80

使用 Indigo80 无需停机即可配置和校准探头，记录各个探头的数据用于快速诊断，并轻松识别潜在的维护需求。


Insight 电脑软件

使用免费的 Insight 软件，即可从电脑桌面访问您的仪表、校准 PR53S，并下载新的化学曲线。

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测量性能

精度依据校准参考标准规定，包含非线性、滞后误差，测试环境：+20 ℃（+68 ℉）

折射率
测量范围1.32–1.53 nD（对应 0–100 °Bx）
精度±0.0002 nD（0.1 °Bx）
重复性（置信系数 k=2，包含随机噪声，环境温度 Ta=+20 ℃(+68 ℉)，启用标准低通滤波）±0.0000033 nD
分辨率±0.000001 nD
默认阻尼下响应时间 T₆₃10 s（启用标准低通滤波）
测量周期1 次 / 秒
长期稳定性MAX  0.1 % 满量程 / 年
温度
+20 ℃(+68 ℉) 条件下精度±0.3 ℃（0.54 ℉）
传感器等级F0.15 IEC 60751
温度系数±0.002 ℃/℃


运行环境

工艺参数

工艺温度-20 … +85 ℃（-4 … +185 ℉）
压力20 ℃时：10 bar；130 ℃时：4.5 bar（68 ℉：145 psi；266 ℉：652 psi）
使用环境

储存温度-40 … +65 ℃（-40 … +149 ℉）
工作温度-20 … +45 ℃（-4 … +113 ℉）
工作海拔MAX 2000 m（约 6500 ft）
工作湿度0–100 %RH
储存湿度0–100 % RH，无冷凝
防护等级IP66、IP67

机械规格

接触介质部件

棱镜与蓝宝石平板单晶蓝宝石，99.996 % 氧化铝 Al₂O₃ ¹）
流通池超纯 PTFE ¹）
棱镜密封垫片改性 PTFE ¹）
工艺密封垫片 20.2 × 3 mm（0.8 × 0.1 in）Kalrez W240UP ¹）
非接触介质部件

外壳PVDF
接头不锈钢
电缆PEX 或 FEP
合规认证

电磁兼容（EMC）EN 61326-1，工业环境FCC part 15 B，B 类CAN ICES-3(B)/NMB-3(B)
合规标识CE、中国 RoHS、KC
振动与冲击依据 IEC 60068-2 标准测试


输入与输出

供电额定工作电压24 V DC（范围 9–30 V DC）
功耗＜1 W
防护等级3，PELV
过电压类别I
输出输出参数折射率、温度、浓度、品质系数
模拟输出电流信号源型输出、隔离型，符合 NAMUR NE 43，可配置
电流范围3.8–20.5 mA
负载MAX 600 Ω
+20 ℃模拟输出精度±0.1 % 满量程（±0.0002 RI）
支持协议HART 7
输出参数浓度
数字输出数字接口RS-485，非隔离
线缆长度MAX 300 m（约 1000 ft，数字信号）
支持协议Modbus RTU
连接器外部接头

1 × M12 8 针 A 编码公头可搭配转接器

1 × M12 4 针 A 编码公头连接 USB2、Indigo80 需选配转接线缆

USB2 转接器搭配 Insight 软件使用


校准配件

验证套件（折射率：1.33, 1.37, 1.42, 1.47, 1.52）280380SP
校准套件（折射率：1.32, 1.33, 1.35, 1.36, 1.37, 1.38, 1.40, 1.42, 1.45, 1.47, 1.50, 1.52, 1.53, 1.57）278292SP

配件名称编码
维萨拉 Insight 电脑软件 USB 转接器USB2
M12 4 针转 8 针转接电缆CBL211714
5 m（16.5 ft）M12 开放式线缆278421
10 m（33 ft）M12 开放式线缆285771
1/4 英寸 扩口式接头流通池本体F2-025-TM
3/8 英寸 扩口式接头流通池本体F2-038-TM
1/2 英寸 扩口式接头流通池本体F2-050-TM
3/4 英寸 扩口式接头流通池本体F2-075-TM
1 英寸 扩口式接头流通池本体F2-100-TM
1/4 英寸 立柱式接头流通池本体P2-025-TM
3/8 英寸 立柱式接头流通池本体P2-038-TM
1/2 英寸 立柱式接头流通池本体P2-050-TM
3/4 英寸 立柱式接头流通池本体P2-075-TM
1 英寸 立柱式接头流通池本体P2-100-TM


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产品小贴士

芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液由深圳森泽工业品有限公司提供，产地为芬兰，属于进口其他测试设备，符合多项国家和国际标准，广泛应用于食品/饮料、石油/化工、矿业/冶金、轻工业、能源等领域，芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液凭借其创新性与实用性，在其他测试设备用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。

根据森泽官方产品资料显示：芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液的误差率为≤±1.8%，分辨率为0.1%，重现性为≤±1.2%，分散方式为红外辐射加热 + 样品平铺受热均匀分散，测量时间为0‑99min可调 ，测量范围为湿基 0~100%、干基 0~500%，称量 0.5-120g，芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液的价格为300元，具体型号是Polaris™ PR53S。

在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
日本 IMS IMF-500 数字磁通计 永久磁石磁束測定器 IMF-500 进口 300元
日本SEISHIN 多功能测试仪MT-02 MT-02 进口 300元
日本STU 容积比重测定仪 JISZ2504 JISZ2504 进口 300元

官方链接：
https://m.cnpowder.com.cn/ns36777/productsdetail_396423.html
来源：深圳森泽工业品有限公司
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深圳森泽工业品有限公司为您提供芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液，芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液产地为芬兰，属于其他测试设备，除了芬兰 VAISALA 维萨拉 Polaris™ PR53S 半导体在线折光仪 CMP抛光液的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供日本 Micro‑tec ESC‑500 静电夹具专用丝网印刷机 半导体静电卡盘、日本 Fujiwork 超高精度薄膜测厚仪 HKT‑Master0.01AA/BB 静电卡盘用、日本JTEKT AllFit 支持过热蒸汽惰性气体烘箱 陶瓷脱脂炉 AF-INH 型。
工商信息
企业名称

深圳森泽工业品有限公司

企业类型

信用代码

91440300MAKDH8EP3N

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