测量/计量仪器

• STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备
• STORM 3000®是维普第三代IC Mask缺陷检测
• IRIS-530双表面颗粒检测设备
• STORM 3000U基板缺陷检测设备
• MiScan 高效混合直写光刻系统
• FPD Mask缺陷检测
• STORM 2000SLH缺陷检测设备

光学仪器及设备

• Tornado 2000晶圆全自动光学检测设备
• Tornado 2100套刻测量设备
• Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备
• 光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems
• Multi-μ 3DPrinter 高保真微纳3Ｄ打印系统
• MiPrinter 连续生长3Ｄ微纳打印系统

半导体行业专用仪器

• Nanocrystal 大幅面纳米光刻
• iGrapher 大型紫外直写光刻系统
• Microlab 科研型多功能直写光刻系统
• FlexAligner-P350套准纳米压印光刻
• FlexAligner-R500套准纳米压印光刻
• Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备