产品摘要

等离子清洗是一种轻微的刻蚀，等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前，用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。

产品介绍

★整机外形尺寸：L750×W1000×H1800(mm)

★反应腔尺寸：520×520×H600(mm)，约150L)

★清洁尺寸：500×500mm

★射频电源：13.56MHz，600W

★气体流量控制：1-2路质量流量控制器（0~500SCCM）

★工作气体：氧、氩气，另提供一路氮气用于冷却样品（高纯，用户自备）

★压缩空气：接口压力大于0.5MPa（用户自备）

★真空抽气及测量系统：配备一台8L机械泵，抽气管道采用不锈钢真空波纹管，

★控制方式：采用10寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式，操作方式包括手动模式或自动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。