半导体行业专用仪器

• PD-500/600电子束真空蒸镀设备
• PD-450/650Z直流等离子喷射化学气相沉积设备
• PD-VCD真空闪蒸仪
• PD-700多功能离子镀膜设备
• PD-500C/600C磁控溅射镀膜设备
• PD-450/600H热丝化学气相沉积设备
• PD-60/80MP微波等离子体化学气相沉积设备
• PD-500S/800S高真空蒸发蒸镀设备
• ALD-100原子沉积设备
• PD-450CS/550CS高真空磁控溅射设备
• PD-400S/450S高真空蒸镀设备(手套箱）
• PD-400C高真空磁控溅射

管式炉

• PECVD管式炉

粉体焙烧炉

• PD-350H高真空电弧熔炼炉

清洗/消毒设备

• PD-600Q射频等离子清洗机