设备特点：

★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间

★节约实验室场地不占用手套箱以外空间

★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警

★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀，也可搭配电阻蒸发源使用

★行星式工件架，公转+自转/穹顶式/自动翻面/平板式工件架可选，转速可调

设备参数：

★腔体尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600mm/600×650×800mm

★真空极限：优于（3E﹣05）Pa

抽速保压：（8E﹣04）≤30min保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）