产品摘要

该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发专用设备，广泛应用于高校、科研院所的不同材料薄膜制备研究。也可用于生产线前期工艺试验等。设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，前滑动开门结构，设备可融入手套箱整体设计、设备机架在手套箱下方不占用额外空间。

产品介绍

设备特点：

★前后开门保证密封，前滑动开门操作轻便，气动自动锁紧；开后门装料/检修时大气不会进入手套箱环境，后门关闭时可直接通过把手锁紧密封

★温控有机蒸发源采用控温式束源炉结构挡板一体化设计保证有机材料不被污染，不仅角度可调，均匀性好还可通过进口膜厚仪联动控制实现速率精确控制、掺杂等

★设备兼容有机/无机蒸发,多元共蒸复合膜/分蒸获得多层膜

★样品台可升降调整源-基片距离，有效节约贵重材料，降低实验成本

★系统采用PLC+触摸屏操作，整体美观操作简单，自动化程度高

设备参数：

★腔体尺寸（L×W×Hmm)：400×400×450/450×400×550

设备尺寸（L×W×Hmm)：950×780×1900/950×830×1900

★真空极限：优于（2E﹣05）Pa

抽速保压：（5E﹣04）≤20min 保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）

★基片台：150mm×150mm/200mm×200mm

★蒸发源：可搭配4～8组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发