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ALD-100原子沉积设备
报价:面议
品牌: 普迪真空
产地: 湖北
关注度: 1405
型号: ALD-100原子沉积设备
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半导体行业专用仪器

ALD-100原子沉积设备

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

产品摘要

ALD原子沉积设备可在平面及三维结构材料上沉积薄膜,可用于生长多种氧化物及其复合薄膜的制备。应用于high-K栅极绝缘层、OLED封装层、太阳能电池钝化层、锂离子电池、光学元件镀膜、MEMS等。

产品介绍

设备特点:

★配置高性能薄膜真空计和大气压力检测真空计,可实时观察ALD 工艺过程中压强变化

★自动控制软件,具有CDA报警以及防温度失控硬件保护功能,保障ALD工艺安全性

★沉积材料:HfO2、ZrO2、SnO2、A1203、ZnO、TiO2等,沉积薄膜非均匀性<±2%

★提供38℃氧化铪工艺for14nm及以下集成电路先进工艺节点TEM分析,防止电子束对低温光刻胶的损伤和变形,氧化铪镀膜3nm工艺时间<15min

设备参数:

★真空腔室:4英寸样品沉积反应腔,样品温度可加热到150℃,温度控制精度±0.5℃

★前驱体源:配置3路前驱体源:2路加热金属前驱体源和1路常温水前驱体源

★抽速:配置高性能双极旋片真空泵,抽速不小于65m3/h


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产品小贴士

ALD-100原子沉积设备由武汉普迪真空科技有限公司提供,产地为湖北,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、建材/涂料/油漆、综合其他等领域,ALD-100原子沉积设备凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:ALD-100原子沉积设备的品牌为普迪真空。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
PD-400高真空蒸镀设备 普迪真空 PD-400高真空蒸镀设备 国产 电议
PD-400S/450S高真空蒸镀设备(手套箱) 普迪真空 PD-400S/450S高真空蒸镀设备(手套箱) 国产 电议
PD-500S/800S高真空蒸发蒸镀设备 普迪真空 PD-500S/800S高真空蒸发蒸镀设备 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns35683/productsdetail_377308.html
来源:武汉普迪真空科技有限公司
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武汉普迪真空科技有限公司为您提供普迪真空ALD-100原子沉积设备,ALD-100原子沉积设备产地为湖北,属于半导体行业专用仪器,除了ALD-100原子沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供PD-400高真空蒸镀设备、PD-400S/450S高真空蒸镀设备(手套箱)、PD-350H高真空电弧熔炼炉。
工商信息
企业名称

武汉普迪真空科技有限公司

企业类型

信用代码

91420100MA4KN2CF2B

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